谈谈韩国Micro PioneerX射线镀层测厚仪的磁感应测量原理!
发布时间:2020-12-15 点击次数:635次
随着科技的进步,尤其是近几年微机技术的引进,
韩国Micro PioneerX射线镀层测厚仪的采用正朝着微型化、智能化、多功能、高精度、实用化方向发展。测量分辨率达0.1微米,精密度可达1%,并有较大提高。应用范围广,操作方便,价格低廉。是工业和科研中应用为广泛的测厚仪。
韩国Micro PioneerX射线镀层测厚仪是将X射线照射在样品上的。强度的衰减将主要是由于材料对样品的吸收,以及从样品中反射的第二X射线的强度。测量了涂层等金属膜的厚度。因为有样品和X射线辐照对样品无接触只有45-75w,所以不会造成样品损伤。同时,测量也可以在10到几分钟内完成。
采用磁感应原理时,利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小,来测定覆层厚度。也可以测定与之对应的磁阻的大小,来表示其覆层厚度。覆层越厚,则磁阻越大,磁通越小。利用磁感应原理的测厚仪,原则上可以有导磁基体上的非导磁覆层厚度。一般要求基材导磁率在500以上。如果覆层材料也有磁性,则要求与基材的导磁率之差足够大(如钢上镀镍)。当软芯上绕着线圈的测头放在被测样本上时,仪器自动输出测试电流或测试信号。早期的产品采用指针式表头,测量感应电动势的大小,仪器将该信号放大后来指示覆层厚度。近年来的电路设计引入稳频、锁相、温度补偿等地新技术,利用磁阻来调制测量信号。还采用集成电路,引入微机,使测量精度和重现性有了大幅度的提高(几乎达一个数量级)。